Spetsifikatsiya | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (Havo podshipnikli rels) |
Dvigatel turi | Uch fazali temirsiz dvigatel | Ovozli lasan motor+ |
Rezolyutsiya | Standart 100nm raqamli miqdor | 1vpp dan 5nm gacha |
Dvigatel kuchi | Uzluksiz 60N/pik 210N | Uzluksiz 60N/pik 210N |
Minimal qadam hajmi[nm] | 200nm | 100nm |
Sayohat [mm] | 200×200 | 10 |
Takroriylik [um] | ±0,3 | |
Joylashuv aniqligi [um] | ±1 | ±0,5 |
Yassilik [um] | 10um | 5um |
To'g'rilik [um] | 1um | 1um |
Maksimal tezlik [mm/s] | 500 mm/s | 30 mm/s |
Yuk ko'tarish hajmi [kg] | 5kg (Z o'qi, pnevmatik doimiy quvvat balansi og'irligi bilan) |